Ces dernières années, l'industrie des plaquettes s'est développée rapidement, mais en même temps, elle produit également une grande quantité d'eaux usées. Les eaux usées de production proviennent principalement du processus de nettoyage du procédé de découpage du lingot de silicium polycristallin. Les eaux usées contenant de l'acide sont produites dans le processus de nettoyage après le traitement de surface du lingot de silicium polycristallin avec l'acide mélangé. Étant donné que le traitement de surface est un acide mixte d'acide nitrique + acide fluorhydrique, la principale pollution dans les eaux usées de lavage est le pH, le fluorure et le nitrate. Les eaux usées organiques sont produites dans le processus de nettoyage de la plaquette de silicium polycristallin tranchée. Étant donné que le fluide de coupe (le composant principal est le polyéthylène glycol) et la micro poudre coupée (le composant principal est le carbure de silicium) sont utilisés pour le tranchage, le principal polluant dans les eaux usées de nettoyage est CODCr et SS.
Le fluide de coupe de polysilicium est composé de polyéthylène glycol comme corps principal et ajouté avec divers additifs. Il a un indice de viscosité approprié, une bonne fluidité et une conductivité thermique, et a une bonne stabilité de dispersion et un bon effet de suspension sur la micropoudre de carbure de silicium. Une grande quantité de déchets liquides est générée après la coupe et les déchets liquides contiennent une quantité considérable de poudre de silicium polycristallin, qui a une certaine valeur de récupération. La poudre de silicium polycristallin est récupérée par la technologie de séparation de membrane céramique, devenant ainsi la récupération de fluide de coupe. Et le site est propre et sanitaire, ce qui est conforme à l'orientation nationale de l'industrie des économies d'énergie et de la réduction des émissions.
La technologie des équipements à membrane en céramique est avancée et mature, avec de faibles coûts d'exploitation et un retour sur investissement rapide.
Filtration de membrane en céramiqueLe processus peut traiter directement les déchets liquides contenant du silicium produit dans le processus de production d'énergie solaire, collecter le silicium, réutiliser l'eau pure et le liquide de refroidissement.
Le procédé peut séparer la poudre de silicium et l'eau pure, récupérer plus de 98% de la poudre de silicium, réutiliser plus de 90% d'eau pure, réutiliser environ 50% de liquide de refroidissement et d'agent de mise en forme, ce qui peut réduire considérablement la charge de la station d'égouts.
Le processus présente les avantages d'un processus court, d'un fonctionnement simple, d'une période de récupération courte et est devenu le processus standard préféré pour les entreprises d'analyse comparative dans l'industrie des puces de silicium.
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